공지사항

 플라즈마 해석에서 wave effect를 고려하면 전자와 이온 사이의 상호작용, 에너지 전달, 충돌 등 복잡한 플라즈마의 현상을 더 정확도 높게 예측할 수 있습니다. 

특히 고주파 플라즈마 공정을 해석할 경우, 전기장의 영향을 예측함에 있어 중요한 부분이 될 수 있습니다.

첨부 된 Wave effects On/Off 설정에 따른 비교 해석 결과를 참고하시기 바랍니다.