경원ENC

반도체 공정 교육 내용

반도체 장비 제조 엔진니어를 위한 장비내 열 유동, 플라즈마 해석에 관한 교육입니다.

CFD-ACE+ 기본교육을 이수한 엔진니어를 대상으로 각 장치별 해석 및 실습위주로 진행합니다.

  • simple flow 실습
  • heat conduction 실습
  • 3D pipe 실습
  • Jipelec 실습
  • Plasma theory
  • PECVD 실습
  • CCP 2D 실습
  • feature profile simulation1 (simple cvd)
  • feature profile simulation2 (3D deposition)
  • feature profile simulation3 (ACE+ couple)
  • feature profile simulation4 (etch)