경원ENC

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CFD-ACE+는 반도체 산업분야에서 Multi-physics의 공정해석을 하기 위한 가장 쉽고 발전된 소프트웨어입니다. 산업의 발달에서 공정해석은 성공신화를 가능하게 하는 핵심적인 역할을 담당한다고할 수 있습니다. 특히 엔지니어와 연구자들이 prototype 제작 전부터 하드웨어 최적화를 위해서 해석기술을 도입함에 따라 그 중요성이 더욱 증가하고 있습니다. 많은 해석 프로그램 중에서 CFD-ACE+가 반도체 공정해석에서 오랫동안 가장 신뢰감이 있는 multi-disciplinary 해석도구로 사용되어져 왔으며, 반도체 공정에서 CFD-ACE+를 사용하여 해석하고 있는 문제들은 다음과 같습니다.

semiconductor

Physics : Fluid Flow / Heat Tranfer / Gas & SurfaceChemistry / Radiation / Structural Stress / Particle Transport / Plasma Chemistry / Electro Magnetics / Kinetic

Tools : CFD-ACE+ / CHENKIN-IV / CFD-TOPO / SPICE / Filament Model

Application Fields
  • Semiconductor Processing
  • Plasma
  • MC Radiation
  • Feature Scale