경원ENC

Application
MEMS

MEMS는 Micro-Scale의 기계, 유체, 전기, 광학 및 기타 다른 디바이스를 생산하기위해 반도체 제조 기술을 이용하는 다분야 기술(Multidisciplinary Technology)이 급성장하는 영역이다. MEMS 디바이스는 보통 그것을 제어하거나 신호를 처리하고, 그와 관련된 계산을 수행하는 전자 회로와 통합되어 있다. MEMS의 디자인은 기계, 열·유체, 전기, 전자, 화학, 광학 그리고 기타 다른 물리적인 영역들의 Skill들을 필요로 한다. CFD-ACE+는 MEMS의 다양하고 폭 넓은 Physics들을 하나의 통합된 환경 하에서 서로 연동 시켜 Engineer가 보다 정확한 Solution을 얻는 것이 가능 하도록 설계 되어 있다. 또한 복잡한 형상과 다층 구조를 가지고 있는 MEMS 디바이스의 Geometry와 Mesh Generation을 돕기 위해 CFD-ACE+의 기본 Preprocessor인 CFD-GEOM 외에 CFD-Micromesh라는 MEMS전용 Preprocessor를 제공한다. 다음 그림은 MEMS를 위해 특화 된 CFD-ACE+의 소프트웨어 Line Up이다.

MEMS Environment

Physics : Fluid Flow(Including Free Surface Flow)/ Heat Transfer/ Elctrostatics/ Electromagnetics/ Solid Mechanics/ Chemistry/ Biochemistry/ Particle Dynamics/ Spray …
Tools : CFD-Micromesh/ CFD-ACE+(EPhysics 및 FEMSTRESS모듈 포함)

Application Fields :
  • Inertial MEMS
  • Microfluidics
  • Microreactors & Biochips
  • Optical MEMS
  • RF MEMS
  • Sensors and Transducers