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 Plasma - 2D ICP 모델 해석에 대한 Tutorial(Base Case)자료를 첨부하였습니다.

해석 방법을 첨부 파일을 통해 확인하시기 바랍니다.

 ※ 이 예제를 기반으로 아래와 같은 추가적인 해석 진행이 가능합니다.
    ① Add Surface Deposition Mechanism
    ② Specifying ICP Power
    ③ Non-Maxwellian EEDF (LUT)
    ④ Sheath Model for IED, IAD
    ⑤ Ion Momentum Equation, Improving Convergence
    ⑥ Pulsed ICP