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[CFD-ACE+] Capacitively Coupled Plasma - Edge ring effects
작성자 관리자
날짜 2024-01-11 16:08:19
조회수 723
Edge Ring 높이에 따른 IEADs 자료를 통해 아래 내용을 확인해 보시기 바랍니다.
- Plasma Field & Sheath layer thickness
- Ion Angular Distribution(edge)
- Ion Energy Distribution(edge)
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