Plasma - 2D ICP 모델 해석에 대한 Tutorial(Base Case)자료를 첨부하였습니다.
해석 방법을 첨부 파일을 통해 확인하시기 바랍니다.
※ 이 예제를 기반으로 아래와 같은 추가적인 해석 진행이 가능합니다.
① Add Surface Deposition Mechanism
② Specifying ICP Power
③ Non-Maxwellian EEDF (LUT)
④ Sheath Model for IED, IAD
⑤ Ion Momentum Equation, Improving Convergence
⑥ Pulsed ICP