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[CFD-ACE+] 저압챔버 해석 프로세스

작성자 관리자 날짜 2020-04-16 17:00:22 조회수 84

반도체 진공 챔버 해석 프로세스를 간략히 정리한 자료입니다.

1. 저압유동해석

2. 자연대류 및 강제대류

3. 회전체 해석 적용방법

4. 복사

5. 화학종 혼화 및 반응

6. 플라즈마

자세한 사항은 파일을 다운받아 보세요

 

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